该金属隔膜阀20由图4及图5所示的那样，由以下部件构成在流入路21与流出路22连通的阀室23底面上设置有阀座24的阀体25，为保持阀室23的气密性、在阀体25上设置中央部向上膨出的金属隔膜26，使金属隔膜26覆盖压在阀座24上、并使其从阀座24上离开时、金属隔膜恢复自己原来的形状的驱动装置27，在阀室23的下方形成的、与流出路22连通的环状沟28。
那么，图4及图5所示的金属隔膜阀20，由于形成环状沟28，阀座24的口径变大，即使金属隔膜的行程不大，能实现大流量流动。也就是说，与没有形成环状沟28的情况相比、使表示流体易流动性的数值Cv值变大。
发明要解决的课题以前的金属隔膜阀20，由于形成环状沟28，将其与流出路22相通，相对于环状沟28的沟宽，流出路22的直径D1，特别是环状沟28的底面邻近的(垂直部分)直径小。其间流体被节流，通路阻力变大，从阀室23至流出路22的整体流路实现不了大流量流动，其结果，不能实现更大的Cv值。
另外，为了使流出路22的截面积变大，首先并排穿设2个纵向孔22a、22b，然后，采用将其内圆周整形的办法，然而存在流出路22的加工过于麻烦的问题。
更进一步，环状沟28的底面宽度W1方面也存在着，由于比流出路22的上端直径D1大，在两者的连接部分产生流体节流的现象，使流路阻力容易变大的问题。
